氦质谱检漏仪——电气部分

除了主机供电部件和主机控制部件，还有几组主要电路：

1）离子源电源。为离子源提供加速、聚焦、拒斥电压。

2）发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。

3）离子流放大器和音响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。

4）真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，用冷阴极磁控入电真空计测量高真室。

5）灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后，立即切断灯丝供电回路，以保护灯丝。

6）其他电路。不同型号的检漏仪所具有的功能不尽相同，所以电路也有不少差加，这在各自的说明书中都有说明，这里不同赘述。

氦质谱检漏仪的检漏方法

中科鼎新真空科技（济南）有限公司——***氦质谱检漏仪供应商，我们为您带来以下信息。

?正压法

又称吸***检漏，将吸***接在仪器检漏口上，被检件充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例氦氮混合气）。氦质谱检漏仪的可检漏率当仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气作示漏气体进行动态检漏时所能检出的小的漏孔漏率，称为仪器小的可检漏率，用Qmin表示。检漏时，吸***沿可能泄漏处慢慢移动，被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸***吸入至仪器的质谱系统而被检测出。因为空气中含有5ppm的氦气，正压法检漏灵敏度相对负压法要低。

?背压法

全密封件进行的气密性检测时采用背压法。检漏前用压氦罐向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦气；或者先在被检件前道工艺中向产品内部封入氦气。这个小的可检信号主要受无规律起伏变化的仪器的本底噪声和漂移所限制。被检件放入检漏罐中，再将检漏罐连接到氦质谱检漏仪，对检漏罐抽真空检漏，被检件有漏孔存在，通过漏孔压入（或封入）被检件的氦气会泄漏出来进入检漏罐，被氦质谱检漏仪定量检测到。用这种方法测得的漏率是总漏率。

氦质谱检漏仪的整体结构

一、质谱室

形象的说，质谱室是氦质谱检漏仪的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。由于氦离子一般只有10-13~10-12A，要使小电流放大器输入信号电压足够大，则输入电阻必需很大（一般高于1010欧），放大用的静电计管必须要高度绝缘，所以把高阻及静电计管放在高真空的质谱室中。为了有利于微小的粒子流放大，将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。

二、真空系统

真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度较高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。

三、电气系统

氦质谱仪电气部分的***是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。

四、辅助真空系统的配置

在氦质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进行的气体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常必要的。