DVIA-MO系列主动隔振光学平台

说明：DVIA-MO 系列高精密主动隔振光学平台是由台面和主动隔振支撑两部分组成。

台面采用真蜂窝三层夹心式结构，上台面为热形变系数很小的 430 系列高导磁镍合不锈钢，台面按照 25mmX25mm 孔距均布 M6 螺纹孔， 方便安装仪器，每个螺纹孔下方具有独立的隔离杯，方便清洁。中间是真蜂窝支撑结构，是把 0.25 毫米厚度的钢板加工成蜂巢的结构，增加了台面结构的密度，减小体积，采用***的粘合工艺，坚固耐用。台面的底部和侧板用碳钢作为主体材料，具有非常优1秀的动态和静态的刚性。台面整体为三层夹心式蜂窝结构，采用焊接工艺（非胶粘工艺），没有松动、开裂、脱落等困扰。

主动隔振支撑部分主要包括了被动隔振机构和主动隔振器DVIA-M，  每个支撑里面一般会有 4 个 DVIA-M 系列主动隔振器和一台主控箱。主动隔振器包含了采集信号的传感器和消除振动的驱动器，主要消除 0.5- 10Hz 的外部振动 , 被动隔振系统部分同时承担着支撑负载和隔绝高频率振动的作用。ZTB系列产品刚性强、稳定性好、隔振效果好、***，适合于对隔振要求较高的环境使用。

这个系列的平台可以在低频范围（0.5-10Hz）提供非常***隔振性能，它可以应用于很多对振动要求非常高，甚至具有挑战的领域，比如高分辨率的光谱仪，高分辨率电子显微镜和精密纳米科学研究和制备等。

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热稳定性

热稳定性的关键之处在于各轴方向上都具有对称、各向均匀的钢制结构。钢制部件在热交换过程中的延伸性和收缩性是相似的，可以在温度变化过程中保持良好的平整度。钢制的蜂窝芯结构从顶板延伸到底板，中间并无塑料或铝质泄露管理结构，因此不会降低平台整体的刚度或是引入更高的热膨胀系数。我们采用钢质侧板，而不是木板，这样就消除了由于湿度而引起的环境不稳定因素。一套复杂的光学系统是否稳定，在很大程度上取决于光学平台和隔振腿的性能。

阻尼

光学平台或面包板重要的特性为其共振频率。共振频率和振幅是负相关的，因此共振频率应尽可能地增大，从而将振动强度小化。平台和面包板会在一个特定的频率范围内发生振动。为了改善性能，每种尺寸的平台和面包板的阻尼效果都需要进行优化。

平台阻尼需要进行各种测试，对其厚度/面积的比值进行优化。更大面积的平台(边长至少为10英尺或3米)具有厚度为12.2英寸(310毫米)的标准厚度，这样可以提高稳定性。对于更小面积的平台，厚度可以是8.3英寸(210毫米)或12.2英寸(310毫米)，也可定制更大尺寸。隔振光学平台注意事项无论何种激光应用，为维持光路稳定，振动隔离和桌面阻尼的重要性都是再强调也不为过。