催化燃烧机器设备应用的催化燃烧净化方法与立即点燃净化方法同样，归属于热毁坏法。其原理理是空气氧化和热裂化，有机废气中有机化学成份的分解反应及其转化成无毒性的二氧化碳和水。可是，一般觉得催化反应处理是解决浓度较高的工业废气的化方法。 缘故是催化燃烧的温度远小于焚烧处理的温度，，耗能低，损耗小，所需机器设备少，低成本，而且不造成氮氧化合物。

催化燃烧是利用金属催化剂降低废气中有机物的活化能，使有机物在较低的温度下发生无火焰燃烧。其原理是废气经过催化剂时，先被吸附至催化剂表面，然后在一定的温度下发生催化燃烧，从而达到净化的目的。目前有机废气处理中常用的催化一般为蜂窝状钯金属催化剂和铂金属催化剂，催化燃烧方式有电加热和燃气加热，燃烧类型有直接催化燃烧(CO)和蓄热式催化燃烧(RCO)。催化燃烧一般适用于小风量、高浓度、高温的气态有机物，且废气中不能含有硫、铅、、及卤素等可使催化剂的因子。

采用催化燃烧处理废气是理想的方式，催化燃烧方式在处理废气的过程中还能够抑制有害物质的形成，对氧气的适应程度较高，因此逐渐取代了普通的燃烧方式被广泛应用。气流和温度均匀分布。要使通过催化剂表面的气流和温度分布均匀，并保证火焰不直接接触催化剂表面，燃烧室必需具有足够的长度和空间。催化燃烧装置应具有良好的保温效果。其反应炉体一般用钢结构的外壳内衬耐火材料，或用双层夹墙结构。

催化燃烧设备主要是由换热器、催化床、电加热器、燃烧室、蓄热体等几大部件组成。加热管首先加热催化燃烧设备，通过风机的作用，提供活性炭解吸所用的温度（80～120℃），解吸后的有机废气再进入催化燃烧设备内部，在燃烧室通过催化床的作用，在250~350℃温度下对废气进行氧化分解，分解成小分子化合物，例如水和二氧化碳。通过换热器将达标后的气体热量回收利用，达到节能的目的。