研磨盘是半导体行业中超大规模集成电路用硅片生产的重要工艺装备。通常使用的铸铁或碳钢研磨盘其使用寿命低，热膨胀系数大。在加工硅片过程中，特别是高速研磨或抛光时，由于研磨盘的磨损和热变形，使硅片的平面度和平行度难以保证。采用碳化硅陶瓷的研磨盘由于硬度高研磨盘的磨损小，且热膨胀系数与硅片基本相 同因而可以高速研磨、抛光。研磨盘作为平面研磨机超精密研磨工件的载体，它和工件之间的压强分布影响着加工零件的质量。特别是近几年来的硅片尺寸越来越大，对硅片研磨的质量和效率提出了更高的要求。

研磨盘在研磨中充当什么样的角色？

   研磨盘是通过的旋转，对金属材料或非金属材料进行柔性磨削或抛光的一种工具，是磨具中用得***的一种磨削工具，也是研磨机上面一个重要的配置，在一定程度上影响着工件表面研磨的具体效果，是研磨中不可或缺的重要部分。目数过大或过小的研磨盘，对于工件的研磨都不合适，无法加工到理想的表面精度。它的工作状态是在高速旋转下，接受冲击、耐受高温、及接受变化的应力。

   在研磨加工陶瓷等硬脆材料时研磨盘将会很快发生磨损，造成加工表面质量和精度严重下降，这就势必要频繁地修整研磨盘，不但影响加工效率，增加加工成本，也导致产品合格率降低，因此在研磨过程中，研磨盘显

平面研磨机的研磨盘平面度修整的方法有两种：

　　1是采用基准平面电镀金刚石修整轮来修面，由于电镀金刚石修整轮基本不磨损，可得到较高的平面度。

　　2是通过修整机构修面后，也可获得较好的平面度，这种修整的原理与车床原理一致，研磨盘旋转，一个可前后运动的刀在刀杆的带动对研磨进行切削获得平面，务必达到±0.001mm 生产出来的产品才能更好的保证质量。

　　平面研磨机可用于加工各种金属和非金属材料，加工的表面形状有平面，内、外圆柱面和圆锥面，凸、凹球面，螺纹，齿面及其他型面。而均匀性好能保证在批量加工中，在较长时间内加工的工件都具有较好的面形精度，从而降低研磨盘的修盘频率，提高加工效率和产品合格率，并降低成本。加工精度可达 IT5～01，表面粗糙度可达Ra0.63～0.01微米，属于精密加工。该系列抛光机主要用于LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、模具、导光板、光扦接头等各种材料的单面研磨、抛光。