对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:
1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
净化工程中空气净化处理方案
●净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理,可采用亚空气过滤器代空气过滤器。
●净化空气调节系统如需电加热时,应选用管状电加热器,位置应布置在空气过滤器的上风侧,并应有防火安全措施。
●送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择,中效、空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。
光学微电子净化工程解决方案:
净化工程的设计过程中,应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况,同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力,综合各种因素来确定采用何种净化方案,这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。
无尘室检测前应对工艺设备跟清洁室内部进行仔细清洁,以免影响测验数据;检测清洁度等级时,检测人员坚持人数,有必要穿清洁工作服,测微生物浓度时有必要穿无菌服、戴口罩,测定人员应坐落仪器、仪表下风侧,尽量削减走动跟起伏;清洁室考试前,应对所测环境做全部清洁,但不得使用个别吸尘机吸尘,擦洗人员应穿清洁工作服,荡涤剂可根据场合选用纯化水、、中性洗涤剂或自来水;考试名字首先应测风速、风量、静压,后捡漏,再测清洁度,在其余名字测完并实现名义消毒后,测定细菌浓度,测定细菌前不得进行空气消毒,然后测定选定名字。
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