工作完毕，切断电炉电源，等炉温降到一定温度后，关闭扩散泵加热电源。在抽预真空状态下，等油增压泵降油温，然后关真空阀，关机械真空泵，后关冷却水和总电源。工作结束后，应及时填写设备使用记录及相关文件，整理及打扫工作现场，消灭事故隐患。

真空设备操作应注意，扩散泵加热时，主抽泵及前级阀需打开抽真空。主阀必须在前级阀打开后才能打开。主阀未关上时，炉体放气阀不能打开。

真空设备的改造。为防比大量冷空气进行扩散泵和增压泵，可在抽高真空管道系统加装一台维持泵，实现真空阀与放气阀之问互锁，从而确保设备安全运行。由于管路没有加维持泵，在抽高真空时，气动挡板阀由于损坏或误操作而漏气，使冷空气进入，冷空气遇高温油蒸气，使气体迅速膨胀发生。

摩擦副难以避免地要与周边物质触碰，造成浸蚀、生锈而毁坏。主要表现的爱德华真空泵油规定尽量把摩擦总面积垢清理清除；耐腐蚀防锈处理并维护摩擦面不会受到油霉变或外地人腐蚀。空气氧化安定性表明爱德华真空泵油的耐老化特性，对工业生产流水线生产的真空泵油都是有该项***特性规定。一切爱德华真空泵油都就其有机化学构成和所在外部标准不一样，而具备不一样水平的全自动空气氧化趋向。

水环式真空泵在运行过程中，如果声响不是由于上述正常流体力学现象造成的，而是出现下面三种情况之一，则说明泵内出现了故障。

　　(1)在无任何压缩比下，泵产生了噪音。

　　(2)有明显的金属摩擦声或撞击声。

　　(3)轴功率明显地增大(观察电动机的电压表和电流麦即可知)。

　　造成这种不正常的噪音，有可能是由于泵的侧盖与叶轮端面发生偏磨所造成的金属摩擦声，也有可能是泵内有杂物，甚至是叶轮叶片玻碎等原因造成的，这时就要停机检查，更换坏的配件。