隔膜真空泵往复真空泵靠活塞杆反复运动使泵腔（汽缸）的工作中容量周期性地转变来抽真空的机械泵，又被称为活塞杆机械泵。往复真空泵的构造与往复式活塞杆制冷压缩机类似。工作中时，呼吸管接被真空包装器皿，排汽管直达空气。往复真空泵可用以真空泵水蒸气蒸馏、真空泵萃取、真空泵结晶体、真空抽滤、真空干燥机和混泥土真空泵工作等。

3爪式机械泵爪式机械泵（干式真空泵检修）由多级别电机转子组成，在其中每个级别都是有两个电机转子组成，2个电机转子反向转动，呼吸口与泵腔接入，泵腔容量增大而呼吸，当电机转子关掉呼吸口时呼吸完毕，之后泵腔缩小而缩小汽体，当出气口开启后泵腔排气管，出气口关掉的时候排气管结束，这般循环系统工作中。

普旭真空泵维修中常见的漏油故障之一主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫和电机轴承轴封处。主要原因是这些零件的老化和真空泵使用时间长造成的密封失效导致漏油。油窗漏油是由于真空泵使用时间长导致油窗老化，导致，或者油窗与油箱之间的粘合剂老化失效，导致泵油泄漏。 　　

在普旭真空泵维修过程中，电机轴有两个油封，前油封和后油封。任何老化故障都会导致漏油。油箱通过适配器与电机连接，油箱与适配器的连接处设有密封圈，起到密封油箱的作用。如果老化，也会导致真空泵漏油。此外，适配器上还有一个毛毡垫，起到回收泵油的作用。如果充满油，真空泵也会漏油。

在进行真空泵维修时，首先要拆下低真空端盖板(后端盖板，即远离泵轮的一端)，拆卸时根据不同的螺钉使用不同的工具。对于一般六角螺钉，可以使用扳手；对于六角螺钉，应使用内六角扳手；如有必要，应使用套筒扳手，以免损坏螺钉。拧紧端盖螺钉后，轻轻打开端盖。如果端盖紧密关闭，慢慢尝试打开它。例如，可以用锉刀在泵腔和端盖之间的接合处锉出一个小槽，然后将螺丝刀(螺丝刀)插入该小槽中，用手敲打螺丝刀的手柄，或者用小锤子轻轻敲打螺丝刀，使其从端盖退出，不允许重锤。