去油后进行浸蚀处理，目的是去除金属表面的氧化物，经过热处理的零件，油污已不存在，可直接进行浸蚀处理，以去除退火后的氧化层。浸蚀处理一般在酸性溶液中进行，大多数金属的氧化物以及金属本身都能与适当浓度的酸溶液起化学反应，氧化物与酸反应生成盐和水，金属与酸作用生成盐和氢气，氢气的一部分被金属表面吸附后，会使某些金属变脆，为了避免金属变脆和过度腐蚀，可在浸蚀液中加入缓蚀剂，并适当控制浸蚀溶液的的浓度及温度。

将待清洗的金属零件放在某种溶液中，并将零件接在电源的正极或负极，另外再用某一材料制作成的极板接电源的另一极，调节电源电压，获得一定电流密度，达到去油和去除金属表面氧化层的目的。

摩擦副难以避免地要与周边物质触碰，造成浸蚀、生锈而毁坏。主要表现的爱德华真空泵油规定尽量把摩擦总面积垢清理清除；耐腐蚀防锈处理并维护摩擦面不会受到油霉变或外地人腐蚀。空气氧化安定性表明爱德华真空泵油的耐老化特性，对工业生产流水线生产的真空泵油都是有该项***特性规定。一切爱德华真空泵油都就其有机化学构成和所在外部标准不一样，而具备不一样水平的全自动空气氧化趋向。


在真空泵维修保养的过程中要定期检查轴套的磨损情况，磨损大时要及时更换轴套。定期调整填料压盖，确保填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。在真空泵维修保养的过程中还需要检查真空泵管道和接头是否松动，用手转动真空泵，看看真空泵是否灵活。 　　真空泵维修保养时，发现漏油的现象的话主要是在三个位置，油窗、密封套件和轴承轴封。真空泵漏油的主要原因是密封老化。这个问题可以通过在维修过程中更换相应的配件来解决。真空泵修理后，记得清洗油箱，然后注入真空泵油。


真空泵维修的传动部位磨损是普遍存在的问题，其中包括轴承位、轴承座、轴承室、键槽及螺纹等部位，传统方法以补焊和刷镀喷涂为主，但两者均存在一定弊端：补焊高温产生的热应力无法完全消除，易造成材质损伤，导致部件出现弯曲或断裂；而电刷镀受涂层厚度限制，容易剥落，且以上两种方法都是用金属修复金属，无法改变“硬对硬”的配合关系，真空泵维修在各力综合作用下，仍会造成再次磨损。当代西方国家针对以上问题多使用高分子复合材料的修复方法，而应用较多的有美国 美嘉华技术体系，其具有的粘着力，优异的抗压强度等综合性能。应用高分子材料修复，可免拆卸，免机加工。既无补焊热应力影响，修复厚度也不受限制，同时产品所具有的金属材料不具备的退让性，可吸收设备的冲击震动，避免再次磨损的可能，并大大延长设备部件的使用寿命，为企业节省大量的停机时间，创造巨大的经济价值。