隔膜真空泵往复真空泵靠活塞杆反复运动使泵腔（汽缸）的工作中容量周期性地转变来抽真空的机械泵，又被称为活塞杆机械泵。往复真空泵的构造与往复式活塞杆制冷压缩机类似。工作中时，呼吸管接被真空包装器皿，排汽管直达空气。往复真空泵可用以真空泵水蒸气蒸馏、真空泵萃取、真空泵结晶体、真空抽滤、真空干燥机和混泥土真空泵工作等。

3爪式机械泵爪式机械泵（干式真空泵检修）由多级别电机转子组成，在其中每个级别都是有两个电机转子组成，2个电机转子反向转动，呼吸口与泵腔接入，泵腔容量增大而呼吸，当电机转子关掉呼吸口时呼吸完毕，之后泵腔缩小而缩小汽体，当出气口开启后泵腔排气管，出气口关掉的时候排气管结束，这般循环系统工作中。

水环式真空泵在运行过程中，如果声响不是由于上述正常流体力学现象造成的，而是出现下面三种情况之一，则说明泵内出现了故障。

　　(1)在无任何压缩比下，泵产生了噪音。

　　(2)有明显的金属摩擦声或撞击声。

　　(3)轴功率明显地增大(观察电动机的电压表和电流麦即可知)。

　　造成这种不正常的噪音，有可能是由于泵的侧盖与叶轮端面发生偏磨所造成的金属摩擦声，也有可能是泵内有杂物，甚至是叶轮叶片玻碎等原因造成的，这时就要停机检查，更换坏的配件。

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