拆卸泵体后，发现一级和二级叶轮的轴向和圆周方向无磨损；相应的泵体端盖和泵隔膜没有磨损。经过检查后，两级叶轮之间的固定距离套筒的尺寸与图纸没有出现较大的偏差。因此，将转子送到制造商处进行动平衡检查和转子跳动检查。泵轴弯曲变形，机械密封处的径向跳动为0.15mm，超过了机械密封的允许值减少0.05mm（见图8），使机械密封小幅度地机械拍打，并形成周期性的轴向冲击载荷，在更换新的机械密封一周后，石墨移动环逐渐磨损。

       当泵出现故障时泵能自动停车，两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器，以提供所需的电流电压，以满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通与断开及马达超负荷的保护。操作过程有显示器，有按钮控制，可控制

马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀，第二、三、四级的净化气体的通断阀，惰性气体的主阀，净化气体向轴封处通气用的

阀门等。故障的监控报警或停车，系统安全自动控制，也可按钮控制。启动时，打开净化气体，泵正常运行3min，净化气体向各段

涌入，通净化气体对泵性能有些影响。每当遇到紧急情况可按自动停车键，净化气体继续接通，关闭入口防返流阀，各级泵净化

1min，净化结束，马达再停车，关闭惰性气体截止阀。

　    要确定电机故障，首先应了解故障的发生，尤其是故障发生前后的变化。观察电机的异常情况，如端盖、风扇、外壳是否松动、、损坏，气道是否堵塞，轴是否弯曲，是否有特殊现象气味，绝缘被烧毁。气味也是油脂或其他油脂熔化和蒸发的气味。用手转动转子，听听是否有异物摩擦或定子和转子铁芯摩擦。如果仍然可以启动电机，请注意启动和运行期间声音是否异常。并用手触摸电机部件，检查热量程度以及是否存在局部过热(如轴承室附近的热量与其他部件相比)和振动。

　　相位异步真空泵电动机的绕组损坏，并且相量损失操作引起大量的绕组。所谓的缺相运行意味着运行中的电机突然断电，电机仍在工作。由于电流太大，绕组必然会烧坏。当发生缺相操作时，电机声音极其异常。发现后应立即切断电源停止检查。