分子真空泵(简称分子泵)是1913年是德国人盖得(W.Gaede)首先发明的。他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。虽然分子泵是一种机械泵,但它已经摆脱了那种靠容积变化来抽气的容积泵原理,而是靠高速运动的刚体表面来携带气体分子实现抽气的一种新型机械真空泵。通常把高速刚体表面携带气体分子按一定方向运动的现象成为分子牵引,或称为气体的外摩擦输运现象。因此,人们把盖得发明的分子泵称为牵引分子泵。这种泵具有启动时间短,抽重气体比抽轻气体快等一系列优点。但由于它的密封间隙小,容易引起机械故障以及加工精度要求高等,除特殊需要外,实际上很少应用,曾有些人做过不少改进,出现过几种不同类型的牵引分子泵,但因为抽速低没有推广应用,曾一度被结构简单的扩散泵所代替。
一些真空泵维修人员由于对真空设备结构、原理不清楚,不认真分析故障原因,不能准确判断故障部位,凭着“大概、差不多”的思想盲目对机械大拆大卸,结果不但原故障未排除,而且由于维修技能和工艺较差,又出现新的问题。因此,当机械出现故障后,要通过检测设备进行检测,如无检测设备,可通过“问、看、查、试”等传统的故障判断方法和手段,结合真空设备的结构和工作原理,确定可能发生故障的部位。
在判定真空设备故障时,一般常用“排除法”和“比较法”,按照从简单到复杂、先外表后内部、先总成再部件的顺序进行,切忌“不问青红皂白,盲目大拆大卸”。
1、尽可能要求在区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
2、应避免在大真空度或大排气压力附近运行。在此区域内运行,不仅效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象,产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏,以致泵无法工作。
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