真空泵机组涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:①半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备;②科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、真空泵机组极光试验设备、分析测试仪器;③机械设备行业:材料制备设备、真空检测设备、真空过滤设备、材料提纯设备、超高真空排气设备;④行业:仪器、透析机;生物制品行业:材料提纯与药品制备;⑤包装行业:食品、药品、生物制品等包装设备;⑥真空冶金行业:真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的佳配置。它的主要运动件只有一个动涡旋盘，因而动力传递简单，相同尺寸下运动半径小、零部件少、结构简单紧凑、整机尺寸小，动、静涡旋盘之间、动盘与泵腔之间间隙小，泵内运动件与泵腔无摩擦，所以几乎无磨损，运行平稳，消耗功率小，气体流动损失小，工作可靠性高、寿命长，易于维修，维修费用低，容积。采用空气冷却，无需水冷。

        目前有两代涡旋泵产品。代产品由于轴承密封隔离不是很好，不能做到完全无油，故不推荐使用。第二代产品是单级涡旋设计。只有一个轴承，轴承与真空腔隔离，完全无油。并且装有控制系统，可变频控制0、50、60、70Hz，故性能较好。产品不需要维修，2～3年更换密封件，维护方便、简单，具有较强的抽水蒸气能力。BOC公司的涡旋泵在我国销量达100台/年左右。美国Varian公司:美国Varian公司1998年开发了涡旋泵，到目前已有三代涡旋泵产品。代产品已基本停产。第二通过技术改进，形成了风格的二级设计:级是三涡旋线同时抽气，可提高抽速，工作在从大气压到5．5×104Pa;第二级是单涡旋线，从5．5×104Pa到极限。一、二级同时工作，是真正的(从压力角度区分的)两级泵。第三代产品是在第二代产品上增加了控制系统。Varian公司的涡旋泵是其干式泵的主打产品，作为分子泵的前级主泵，不需要维修，2～3年更换密封件，维护方便、简单，因此在我国销量达100台/年以上。

       分子真空泵（简称分子泵）是1913年是德国人盖得（W.Gaede）首先发明的。他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。虽然分子泵是一种机械泵,但它已经摆脱了那种靠容积变化来抽气的容积泵原理，而是靠高速运动的刚体表面来携带气体分子实现抽气的一种新型机械真空泵。通常把高速刚体表面携带气体分子按一定方向运动的现象成为分子牵引，或称为气体的外摩擦输运现象。因此，人们把盖得发明的分子泵称为牵引分子泵。这种泵具有启动时间短，抽重气体比抽轻气体快等一系列优点。但由于它的密封间隙小，容易引起机械故障以及加工精度要求高等，除特殊需要外，实际上很少应用，曾有些人做过不少改进，出现过几种不同类型的牵引分子泵，但因为抽速低没有推广应用，曾一度被结构简单的扩散泵所代替。

        为保持工作室内清洁卫生，有利干工作人员的身体健康，应用皮管将排出的气体直接引到室外。

        爱德华真空泵长期未工作或环境温度较低时，可能引起起动困难，这时应使真空泵的抽气口通大气，用丰转动皮带轮（不贾接电源入使真空泵旋转数周后再起动。若是直接联真空泵，可继续动电动机数次，将爱德华真空泵腔内的存油排入油箱，即可起动。若然不行，可用辐射加热或红外灯对真空泵直接加温，直到能动为止。