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来源:2592作者:2021/7/14 4:13:00






       涡旋真空泵具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内具有稳定的抽速,由于压缩腔容积的变化是连续的,因而驱动扭矩变化小,功率变化小,振动噪声低,这是其他类型的干式真空泵所不具备的。为实现涡旋泵有效工作的目的,必须使涡旋型线在各个真空气腔良好啮合,避免由于真空腔压差大等因素导致涡旋壁受力情况恶化、产生热变形、排气腔一部分高压气体滞留和真空泵效率降低等情况。所以要保证涡旋型线之间的包容与啮合,控制工作介质的泄漏,达到抽气目的。这是涡旋泵结构设计的重要依据。在泵的抽气流道中,无须使用任何油类和密封液体作为介质,依靠动、静涡旋盘相对转动形成吸气腔和压缩腔将被抽气体排出,连续完成吸气、压缩和排气过程。因此,如何防止泄漏解决密封的问题尤为重要。涡旋泵的密封主要包括轴向啮合间隙的径向密封,即齿顶密封,和径向啮合间隙的切向密封,即齿侧密封。


        目前有两代涡旋泵产品。代产品由于轴承密封隔离不是很好,不能做到完全无油,故不推荐使用。第二代产品是单级涡旋设计。只有一个轴承,轴承与真空腔隔离,完全无油。并且装有控制系统,可变频控制0、50、60、70Hz,故性能较好。产品不需要维修,2~3年更换密封件,维护方便、简单,具有较强的抽水蒸气能力。BOC公司的涡旋泵在我国销量达100台/年左右。美国Varian公司:美国Varian公司1998年开发了涡旋泵,到目前已有三代涡旋泵产品。代产品已基本停产。第二通过技术改进,形成了风格的二级设计:级是三涡旋线同时抽气,可提高抽速,工作在从大气压到5.5×104Pa;第二级是单涡旋线,从5.5×104Pa到极限。一、二级同时工作,是真正的(从压力角度区分的)两级泵。第三代产品是在第二代产品上增加了控制系统。Varian公司的涡旋泵是其干式泵的主打产品,作为分子泵的前级主泵,不需要维修,2~3年更换密封件,维护方便、简单,因此在我国销量达100台/年以上。


       根据以上原则,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高,单级泵往往不能满足,或者,要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量,即要求性能曲线在较高真空度时较平坦,可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。

   如果只作真空泵用,则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单,容易制造和维护,且在高真空情况下抗汽蚀性好。如果仅作较大气量的压缩机使用,则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大,体积小,重量轻,径向力能得到自动平衡,轴不容易产生疲劳断裂,泵的使用寿命较长。



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