曝光灯在使用之前,需要使用无尘纸或者无尘布使用少量的有机溶液擦拭干净。
曝光灯在使用前要用测漏仪测试灯管是否有出现有损坏。
灯在使用时连接线要拧紧,防止大电流将连接导线烧断。
曝光灯在运输时应该避免震荡。阳极头需要朝下,包装也要保证曝光灯不会再运输过程中损坏。
曝光灯在储存时应该水平放置或者垂直放置,禁止震动。
1.确认万用表工作正常,量程置于200mV。
2.冷探针连接电压表的正电极,热探针与电压表的负极相连。
3.用冷、热探针接触硅片一个边沿不相连的两个点,电压表显示这两点间的电压为正值,说明导电类型为P型,刻蚀合格。相同的方法检测另外三个边沿的导电类型是否为P型。
4.如果经过检验,任何一个边沿没有刻蚀合格,则这一批硅片需要重新装片,进行刻蚀。
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