超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代，加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米)，表面粗糙度达1纳米。超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有特殊的要求，需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他***技术。工件材质必须极为细致均匀，并经适当处理以消除内部残余应力,保证高度的尺寸稳定性,防止加工后发生变形。

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精密零件加工还可以有效提高劳动生产率，增加产量，具有较高的经济效益，降低企业成本。精密零件加工还可以改善劳动条件，降低劳动强度，缩短劳动时间，提高文明生产程度。此外，精密机械零件加工可以减少生产工人、厂房面积、缩短生产周期、降低生产成本、节约能源，因此精密零件的加工可以说是有很大的效益的。

精密机械加工范围上越来越广，说明在效果上也比较好，而且加工的精密度上要求也比较高.零件在加工前要进行夹紧，这也是形成零件变形的一大原因，零件夹紧时，要选择合适的夹紧点位以及夹紧力度，选择的夹紧点位和零件的支撑点应达到数量一致，如果一个零件上有几个夹紧点位，人们应该注意夹紧的先后顺序和夹紧的各个力度，如果操作不当，机械加工时也很容易出现变形。