超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代，加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米)，表面粗糙度达1纳米。超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有特殊的要求，需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他***技术。工件材质必须极为细致均匀，并经适当处理以消除内部残余应力,保证高度的尺寸稳定性,防止加工后发生变形。

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纳米级的超精密加工也称为纳米工艺 。超精密加工是处于发展中的跨学科综合技术。

CNC精密零件加工有哪些优势呢？

1、多轴控制联动：一般通常情况下三轴联动用多，但是通过一些调整可以做到四轴，五轴，七轴甚至更多联动轴的加工中心。

2、机床并联：常见的加工中心其功能也是比较固定的，可以把加工中心和车削中心，或者立式，卧式加工中心组合在一起，这能够增加加工中心的加工范围和加工能力。

应用CNC零件加工中心的空运转功用能够检查走刀轨迹的正确性。当程序输入CNC零件加工中心后，能够装上刀具或工件，然后按下空运转按钮，此时主轴不转，工作台按程序轨迹自动运转，此时便能够发现刀具能否有可能与工件或夹具相碰。但是，在这种状况下必需要保证装有工件时，不能装刀具;装刀具时，就不能装工件，否则会发作碰撞。

精密机械加工范围上越来越广，说明在效果上也比较好，而且加工的精密度上要求也比较高.零件在加工前要进行夹紧，这也是形成零件变形的一大原因，零件夹紧时，要选择合适的夹紧点位以及夹紧力度，选择的夹紧点位和零件的支撑点应达到数量一致，如果一个零件上有几个夹紧点位，人们应该注意夹紧的先后顺序和夹紧的各个力度，如果操作不当，机械加工时也很容易出现变形。