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在半导体器件生产车间,由于尘埃吸附在半导体元件上,会造成产品损坏,甚至导致超大规模集成电路的成品率下降。生产车间操作人员都必须穿洁净工作服,无尘鞋,戴无尘口罩,无尘手套等人体无尘设备,来避免由于人体带静电,而导致吸附尘埃、污物等。
所以在加工生产和封装过程中建立起静电防护系统是很有必要的。涂布生产被加工物多为绝缘性的纸材及各种塑膜,如PE、PET等,生产时快速穿越涂布机的众多金属及橡胶导辊的过程中,因不断地、反复地被加压接触、分离、摩擦,产生大量静电,尤其是橡胶压辊产生静电的强度远胜于金属导a。IC封装生产线对静电的要求更为严格。为了保证生产线的正常运行,对其洁净厂房进行防静电建筑材料的整体装修,对进出洁净厂房的所有人员配备防静电服装等硬件措施外,在部分流水线和操作工位上还需装有离子风机、离子风咀、离子风蛇、离子风棒等静电消除器,这些设备是方案中不可或缺的产品。
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防静电产品:生产防静电产品和电子辅助产品,系列有:离子风机、离子风棒、离子风嘴、离子风蛇、静电除尘机、板面除尘机等广泛应用于:精密电子产品生产;电子组装线,微电子生产,光电;制造组装线、印刷、包装;细小产品成型,塑料薄膜的覆膜,以及模具产品的脱模等。但是由于外界作用如摩擦或以各种能量如动能、位能、热能、化学能等的形式作用会使原子的正负电不平衡。
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静电有很多危害,静电是否也能利用呢?利用静电能给人类造福。大家了解得比较多的是静电复印现在得到广泛使用。Kapper卡帕尔除静电离子风咀——速度快效果好,采购优选工业生产中,由于物品互相之间的摩擦、剥离、挤压、感应等使物体表面积存有不同性质的电荷。静电除尘,现在很多空气净化器就是利用静电能吸除空气中的很小的尘埃,使空气净化。在农业中,利用静电喷雾能大大提高那个效率的使用,既经济又有利环境保护。静电还有很多应用,如静电处理的种子抗病能力强,病害发生减少,而且发芽率高,产量得到提高;静电放电产生的臭氧是强化剂,有很强的杀菌作用;经过静电处理的水,既能杀菌又不易起水垢。



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在半导体器件生产车间,由于尘埃吸附在芯片上,IC尤其是超大规模集成电路(VLSI)的成品率会大大下降。在60年代,随着对静电非常敏感的MOS器件的出现,静电问题也出现了,到70年代静电问题越来越来严重。 IC生产车间操作人员都穿洁净工作服,若人体带静电,则极易吸附尘埃、污物等,若这些尘埃、污物被带到操作现场的话,将影响产品质量,恶化产品性能、大大降低Ic成品率。如果吸附的灰尘粒子的半径大于100μm线条宽度约100μm时,薄膜厚度在50μm下时,则易使产品报废。





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