其中-COONa是亲水基因,溶于水,从干膜上剥离下来,使整个板面显露出需电镀的图形,然后进行电镀。-COONa是干膜成份,Na+是显影溶液的主要成份,(Na2CO33%加适量的消泡剂)。如显影不准,使图形导线部分有余胶,会造成局部镀不上铜,形成废次品,这是显影段容易出现的质量问题。
曝光时间过长。当曝光过度时,紫外光透过照相底片上透明部分并产生折射、衍射现象,照射到照相底片不透明部分下的干膜处,使本来不应该发生光聚合反应的该部分干膜,被部分曝光后发生聚合反应,显影时就会产生余胶和线条过细的现象。因此,适当的控制曝光时间是控制显影效果的重要条件。
现有的曝光机对基板的主体部分进行曝光,但是基板的边缘,特别是基板相对的两长边(在光阻涂布的起始端与末端位置)较容易形成光阻残留,从而导致后段部件所需要用到的对位图案被遮住,造成基板报废。
基板由主体曝光机10进行主体曝光,然后由传送装置40,例如机械手臂,将基板传送至边缘曝光装置20,完成边缘曝光后,再由传送装置40将基板传送至基板输送机构50,由此进入显影装置30。
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