1. 激光直写式曝光机(LDI曝光机),比如DISKING LDI曝光机,此类曝光机可以直接在感光膜或者油墨上直接成像,节约了菲林成本及加速了工序生产效率;
2.7KW的金属卤化物(如钨灯)的灯;
3.具有平行(或准平行光)的曝光机上进行曝光(如LED曝光机)。
在烘干的绝缘介质层表面上其曝光时间可由光尺表(21格能量格)等试验或供应商提供的条件进行和调整,一般应采用较大曝光量和较短时间曝光。对于采用低功率曝光机,由于光能量低,造成曝光时间长,则光的折射、衍射等加重,这对于制造精细节距或高密度互连的导通孔是不利的。
在盛有电镀液的镀槽中,经过清理和特殊预处理的待镀件作为阴极,用镀覆金属制成阳极,两极分别与直流电源的正极和负极联接。
电镀液由含有镀覆金属的化合物、导电的盐类、缓冲剂、pH调节剂和添加剂等的水溶液组成。通电后,电镀液中的金属离子,在电位差的作用下移动到阴极上形成镀层。阳极的金属形成金属离子进入电镀液,以保持被镀覆的金属离子的浓度。
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