从事UV-LED平行曝光机使用和维护的朋友都知道,曝光机曝光时间过长势必影响到工作效率;况且更换曝光灯过频,极大浪费了整体运营成本.

首先我们从UV-LED平行曝光机的工作原理分析,曝光机是通过曝光灯发射的紫外线光束穿透曝光玻璃或压克力匀光照在固定在玻璃台面上的菲林,紫外光束通过菲林的特殊阴影使夹在中间基板上面投上密如蛛网的电路从而进入下一道工序.

LED曝光机广泛应用于半导体,微电子,生物器件和纳米科技领.了解了曝光机的保养,使LED曝光机设备保养维护者对于保养有一定的认知,维持设备运转正常,进而延长设备寿命,提升机台稼动率同时保证良率的稳定.众所周知,LED曝光机灯的功率要满足要求(一般为8 0—120W/cm);LED曝光机灯管的寿命不能超过1200h,一般建议使用1000h;LED曝光机灯管使用500h换一次,通常,在使用LED曝光机灯管的时候,有个小技巧,就是保养一段时间两支LED曝光机灯管使用时可交替使用。

LED曝光机即电子束曝光机是集电子光学,电气,机械,真空,计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备.

曝光机是20世纪60年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来,70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业.

LED曝光机的优点;

节电85%以上

终身无需更换灯管，光源与机台寿命相当

无需使用冷却水供给

绿色环保-不含gong元素

HEPA百级空气过滤

设备总体积减少1/3以上

真正UVLED冷光源（无菲林胀缩）

光谱中仅含纯净UVLED光，不含红外线及可见光等

不存在菲林胀缩问题

超长的数万小时寿命