现在我们开始测定显影时间。有的朋友可能会使用双面求显或单面追击法来测显影时间,但我觉得这个方法靠肉眼观察的不确定性太多。我自己用不同的药和不同的胶卷试了几次,都不成功。
以测定的实效感光度拍摄灰卡,Ⅰ区(测光后减4档)、Ⅴ区(测光值)、Ⅷ区(测光后加3档)各一张,共3张,再盖上镜头盖拍一张;
按个人常用显影时间和搅动方式冲洗;二、按测定ISO时的方法测定密度:Ⅰ区低于全黑0.3~0.5EV,Ⅴ区低于全黑2~2.5EV、Ⅷ区低于全黑3.8~4.5EV时为正常显影时间;
1.预喷淋:为了提高后面显影液在硅片表面的附着性能,先在硅片表面喷上一点去离子水。
2.显影喷淋:在硅片表面涂覆显影液。为了将显影液均匀地涂覆到硅片表面上,显影喷嘴分为以下几种:E2喷嘴,LD喷嘴,GP喷嘴,MGP喷嘴等。
3.显影液表面停留:为了让显影液与光刻胶进行充分反应,显影液喷淋后需要在硅片表面停留一般为几十秒到一两分钟。
4.显影液去除并且清洗:达到显影时间后,使用DIW立即冲洗晶圆表面。去离子水不仅可以使显影过程终止,而且会把显影后缺陷颗粒冲洗掉。在冲洗过程中,晶圆旋转产生的离心力也对去除表面颗粒有很大的帮助。图1.13是一个典型的去离子水冲洗工艺。
5. 甩干:为了将表面的去离子水甩干,将硅片转到高转速
那如何规避不利影响,实现客户服务与经营管理双赢,有效提高作坊、店堂的利润率,具体***如下。
在产品加工制造阶段,通过总成控制回路的不断扩展,自动车床会替代主机直接在原车床上工作。自动车床直接控制主机功能基于手持电脑自动控制操作方式,需要上车可选择随时调整车床的稳定,并可在调试过程中调整工作位置、时间、上车时间等指令。
版权所有©2025 天助网