1. 激光直写式曝光机(LDI曝光机),比如DISKING LDI曝光机,此类曝光机可以直接在感光膜或者油墨上直接成像,节约了菲林成本及加速了工序生产效率;
2.7KW的金属卤化物(如钨灯)的灯;
3.具有平行(或准平行光)的曝光机上进行曝光(如LED曝光机)。
在烘干的绝缘介质层表面上其曝光时间可由光尺表(21格能量格)等试验或供应商提供的条件进行和调整,一般应采用较大曝光量和较短时间曝光。对于采用低功率曝光机,由于光能量低,造成曝光时间长,则光的折射、衍射等加重,这对于制造精细节距或高密度互连的导通孔是不利的。
其中-COONa是亲水基因,溶于水,从干膜上剥离下来,使整个板面显露出需电镀的图形,然后进行电镀。-COONa是干膜成份,Na+是显影溶液的主要成份,(Na2CO33%加适量的消泡剂)。如显影不准,使图形导线部分有余胶,会造成局部镀不上铜,形成废次品,这是显影段容易出现的质量问题。
曝光时间过长。当曝光过度时,紫外光透过照相底片上透明部分并产生折射、衍射现象,照射到照相底片不透明部分下的干膜处,使本来不应该发生光聚合反应的该部分干膜,被部分曝光后发生聚合反应,显影时就会产生余胶和线条过细的现象。因此,适当的控制曝光时间是控制显影效果的重要条件。
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