影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?

气体不均匀性的影响

一般来说气体不均匀可以由两种情况产生，一种是送气不均匀，另一种就是抽气不均匀。正常抽气情况指的是真空室内的孪生靶两端对称抽气，可认为是均匀抽气；而前分子泵关和后分子泵关则是一端抽气，属于不均匀抽气。由于都是均匀送气不均匀抽气，真空室内的气体就不均匀了。很显然前分子泵关只开后分子泵时，气压从前到后逐渐减小，而后分子泵关只开前分子泵时，气压从后到前逐渐减小。实验得到的膜厚考虑磁场的影响后也正与气压变化相符。

真空镀膜机器设备的主泵形式分成二种，各自为有油真空泵和无油超滤装置，这二种系统软件的工作中形式全是不一样的；有机油超滤装置基本上是以油扩散泵为主泵，前面泵选用真空泵或是罗茨真空泵。我们知道，油扩散泵的工作压力方向较为大，与此同时抽真空速度十分的高，可以做到每秒钟十几万升。

无油超滤装置是应用分子泵和低温泵做为主泵的，其特性关键集中化在可以持续很多抽真空，能够得到清理无油的极高真空泵。

 PVD真空镀膜机器设备所镀制的渗氮错是一种淡黄色的膜层，适用一些氮化钛不太合适涂敷的行业。具备高耐腐蚀特性，优良的光洁表面及其可塑性。适用表面装饰膜层的PVD镀膜机器设备主要是运用在一些家庭装五金产品上，此外装饰艺术膜层一样也可以具有降低表面损坏、抵御表面浸蚀、增加商品使用寿命的功效。   PVD真空镀膜机的正离子镀膜层不容易脱落、退色，表面不容易产生污渍，清洗简易，并且镀膜低成本。