东莞拉奇纳米科技有限公司是一家从事纳米镀膜代工与纳米镀膜设备制造销售的公司,是将派瑞林(PA-RYLENE)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。
真空镀膜机主要是为了减少反射。为了提高透镜的透光率和图像质量,在现代透镜制造技术中,透镜应采用真空镀膜。根据光学干涉原理,透镜的真空涂层是在透镜表面涂覆一层厚度为四分之一波长(通常为氟化物)的材料,以尽量减少该波长色光的反射。显然,一层薄膜只能作用于一种颜色的光,而多层真空涂层可以作用于多种颜色的光。
薄膜油的表面测量不是一个几何概念,而是一个埋藏的概念,指的是表面分子(原子)的集合。平均表面指的是表面上所有原子的点对这个表面的代数和等于零。
我们通常把底物一侧表面分子集合的平均表面称为底物表面;膜边表面的平均表面称为膜的形状表面。将测量到的薄膜原子重新排列,使固体材料的密度和体积完全一致,均匀地分布在基体表面。那么平均表面称为薄膜质量当量表面。根据被测薄膜的物理性质,将其等效为与被测薄膜长、宽相同的大型固体材料薄膜,则其平均表面称为薄膜物理等效面。
真空镀膜机具有真空度高、抽速快、基片装卸方便的特点,配备 E 型电子束蒸发源和电阻蒸发源。PID自动控温,具有成膜均匀、放气量小和温度均匀的优点。E 型电子束蒸发、电阻热蒸发源组件(可选配)、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵真空机组或低温泵真空机组、旋转基片加热台、工作气路、样品传递机构,膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。可选件:膜厚监控仪,恒温制冷水箱。
影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?
气体不均匀性的影响
一般来说气体不均匀可以由两种情况产生,一种是送气不均匀,另一种就是抽气不均匀。正常抽气情况指的是真空室内的孪生靶两端对称抽气,可认为是均匀抽气;而前分子泵关和后分子泵关则是一端抽气,属于不均匀抽气。由于都是均匀送气不均匀抽气,真空室内的气体就不均匀了。很显然前分子泵关只开后分子泵时,气压从前到后逐渐减小,而后分子泵关只开前分子泵时,气压从后到前逐渐减小。实验得到的膜厚考虑磁场的影响后也正与气压变化相符。
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