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寮步小型气相沉积设备来电垂询「拉奇纳米」
来源:2592作者:2022/7/27 11:43:00






东莞拉奇纳米科技有限公司是一家从事纳米镀膜代工与纳米镀膜设备制造销售的公司,是将派瑞林(PA-RYLENE)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。

真空镀膜机怎样除尘

粗除尘(金属网除尘器)

金属网除尘器的基本版本是钢屑过滤器,其结构比较简单,是一种结构简单的装置,将金属切削屑装入金属丝网袋中。安装在镀膜真空室的管道出口处,便于取出和推进。这种除尘器的尺寸一般为20-60厘米。其工作原理是依靠芯片的机械阻隔作用,可以起到去除灰尘中一些较大颗粒的作用,同时也有一定的冷却效果。在后来改进的金属网除尘装置中,在储油器中安装了部分泵油,这样气流中的大部分粉尘颗粒就可以在油中被去除,而没有粘附在油面上的粉尘颗粒则被金属网除去。


真空镀膜机过程的清洁度是影响真空镀膜附着力的主要指标之一。因此,为了避免真空污染,设备零件的表面清洗处理是非常重要的。真空镀膜机设备表面处理有四种基本方法            


溶剂脱脂

附着在真空设备零件上的油可分为动植物油和矿物油。动植物油可用碱溶液化学法除去,矿物油可用除去。

然而,在实际的清洗设备中,通常使用两种溶剂。                                                                          





影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?

磁场不均匀的影响

由于实际的磁控溅射装置中电场和磁场不是处处均匀的,也不是处处正交的,都是空间的函数。写出的三维运动方程表达式是不可解的,至少没有初等函数的解。所以磁场的不均匀性对离子的影响,也即对成膜不均匀性的影响是难以计算的,好的方法就是配合实验具体分析。图1是用中频孪生靶柔性卷绕磁控溅射镀膜装置实验得出的靶磁场均匀性和成膜厚度均匀性的对应关系。



真空镀膜机器设备的主泵形式分成二种,各自为有油真空泵和无油超滤装置,这二种系统软件的工作中形式全是不一样的;有机油超滤装置基本上是以油扩散泵为主泵,前面泵选用真空泵或是罗茨真空泵。我们知道,油扩散泵的工作压力方向较为大,与此同时抽真空速度十分的高,可以做到每秒钟十几万升。

无油超滤装置是应用分子泵和低温泵做为主泵的,其特性关键集中化在可以持续很多抽真空,能够得到清理无油的极高真空泵。


唐锦仪 (业务联系人)

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