真空镀膜技术一般分为两大类,即物理气相堆积(PVD)技术和化学气相堆积(CVD)技术。
物理气相堆积技术具有膜/基结合力好、薄膜均匀细密、薄膜厚度可控性好、运用的靶材广泛、溅射规模宽、可堆积厚膜、可制取成分安稳的合金膜和重复性好等长处。一同,物理气相堆积技术由于其工艺处理温度可控制在500℃以下,因而可作为Z终的处理工艺用于高速钢和硬质合金类的薄膜刀具上。
真空镀膜加工的常用办法
(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气到达约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面,凝结而成薄膜。
(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰性气体(如)通入已抽空的室内,保持压强约1.33~13.3Pa,然后将阴极接上2000V的直流电源,便激发辉光放电,带正电的离子碰击阴极,使其射出原子,溅射出的原子经过惰性气氛堆积到基体上形成膜。
真空镀膜加工适用于那些地方
镀膜常用在相机镜头、近视、、老花镜等纠正眼镜上运用。
镀膜是在外表镀上非常薄的通明薄膜。目的是希望削减光的反射,添加透光率,抗紫外线并抑低耀光、鬼影;不同色彩的镀膜,也使的成像色彩平衡的不同。此外,镀膜尚可推迟镜片老化、变色的时间。
真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要分支,它已广泛地应用于光学、电子学、能源开发,理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、表面科学以及科学研究等领域中。真空镀膜所采用的方法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积镀以及分子束外延等。此外还有化学气相沉积法。首先在光学方面,一块光学玻璃或石英表面上镀一层或几层不同物质的薄膜后,即可成为高反射或无反射(即增透膜)或者作任何预期比例的反射或透射材料,也可以作成对某种波长的吸收,而对另一种波长的透射的滤色名片。
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