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南城气相沉积设备厂家来电咨询「多图」
来源:2592作者:2022/8/21 9:25:00






东莞拉奇纳米科技有限公司是一家从事纳米镀膜代工与纳米镀膜设备制造销售的公司,是将派瑞林(PA-RYLENE)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。

如何测量真空镀膜机的厚度?

膜必须沉积在基片上,所以没有基片就没有沉积膜的问题。基材的清洁和膜的质量是Z重要的影响因素。同时在制作薄膜时还必须知道薄膜的厚度,从薄膜的厚度来谈论薄膜性质的测量是Z没有意义的。因此,薄膜厚度的测量和基材的清洗可以说是与薄膜生产相关的一项重要技术。


影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?

磁场不均匀的影响

由于实际的磁控溅射装置中电场和磁场不是处处均匀的,也不是处处正交的,都是空间的函数。写出的三维运动方程表达式是不可解的,至少没有初等函数的解。所以磁场的不均匀性对离子的影响,也即对成膜不均匀性的影响是难以计算的,好的方法就是配合实验具体分析。图1是用中频孪生靶柔性卷绕磁控溅射镀膜装置实验得出的靶磁场均匀性和成膜厚度均匀性的对应关系。



真空镀膜机扩散泵维修与保养  

扩散泵是真空镀膜机很重要的部件,大家都知道,真空镀膜机是在真空状态下工作的,那么真空腔体要达到真空,扩散泵的。然而要保证真空镀膜机长期稳定工作,扩散泵保养和维护是的环节。


1、扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

2、扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。




镀膜机常见故障及处理方法:

一、检测不到掩膜夹具翻转信号:

1、检查翻面信号源位置

2、将翻面输入信号人工短接,使用翻面检测功能,计算机能检测到信号时,证明问题在翻面控制开关上,根据情况做相应处理。检测不到信号首先检查线路,然后更换控制卡。

二、掩膜夹具翻转不稳定:

1、检查翻板的初始位置是否符合时机

2、检测翻面控制开关工作是否稳定,可用指针万用表跟踪监测。

3、检查翻转机构动作是否灵活可靠

4、检查翻面信号次数设置

5、检查旋转工作台是否与钟罩内壁有摩擦现象

6、检测旋转工作台在转动时的稳定性




唐锦仪 (业务联系人)

13826965281

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