化学气相沉积技术加工过程中的常见故障排除

化学气相沉积技术加工工艺流程比较长、工序繁多，发生故障的影响因素会很多。如化学气相沉积技术前处理不净、清洗不良、电解液成分失调及杂质污染、生产环境不良等。PVD镀膜而故障的原因往往存在于以上各影响因素的一两个细节之中。

化学气相沉积技术加工在影响产品质量的五大因素〔操作者、设备、材料、工艺方法及生产环境)中，人是位的。化学气相沉积技术故障的发生都与操作工***技能和工作责任心有关。化学气相沉积技术生产管理人员对操作工指导和监督不力，这些在PVD镀膜企业较普遍存在的状况,化学气相沉积技术使得故障在所难免。要减少化学气相沉积技术生产故障，提高化学气相沉积技术从业人员的***技能和工作责任心是十分重要的。

化学气相沉积技术加工生产故障是每个化学气相沉积技术企业都会遇到的问题，排除故障是化学气相沉积技术技术人员的重要职责。化学气相沉积技术实践出真知，PVD镀膜生产的实践性很强。要在调控PVD镀膜生产的全过程中做到遇障不惊，PVD镀膜的途径就是在生产实践中摸爬滚打、坚韧实干善于思考，不断探索和积累等。

真空镀膜加工表面的清洁处理非常重要，直接影响到电镀的产品品质。加工件进入镀膜室前一定要做到认真的镀前清洁处理，表面污染来自工件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、 机油、抛光膏、油脂、汗渍等物，为了避免加工过程中造成的不良，真空镀加工厂家基本上可采用去油或化学清冼方法将其去掉。

对经过清洗处理的清洁表面，不能在大气环境中存放，要用封闭容器或保洁柜贮存，以减小灰尘的沾污。用刚 氧化的铝容器贮存玻璃衬底，可使碳氢化合物蒸气的吸附减至小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。真空镀膜加工对于 高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。

众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。20世纪70年代，在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。前者是通过通电，使电解液电解，被电解的离子镀到作为另一个电极的基体表面上，因此这种镀膜的条件，基体必须是电的良导体，而且薄膜厚度也难以控制。后者是采用化学还原法，必须把膜材配制成溶液，并能迅速参加还原反应，这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差，而且镀膜既不均匀也不易控制，同时还会产生大量的废液，造成严重的污染。因此，这两种被人们称之为湿式镀膜法的镀膜工艺受到了很大的限制。