实验室用小型蒸发镀膜机
用作真空蒸发镀的装置称为蒸发镀膜机。蒸发镀膜机主要由真空室、排气系统、蒸发系统和电气设备四部分组成。
真空室是放置镀件、进行镀膜的场所,直径一般为400~700mm,高400~800mm,用不锈钢或碳钢制作,有水冷却装置。
东莞拉奇纳米科技有限公司是一家***从事纳米镀膜代工与纳米镀膜设备制造销售的公司,为扩大服务体制于1999年开始延伸服务区域,并于2006年正式成立大中华区“东莞拉奇纳米科技有限公司”。
浅析气相沉积设备厂商检漏方法
真空镀膜厂家介绍查看漏气状况是确保真空镀膜机真空度的一项查看办法,简称检漏,真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的,所以检漏是***的。
通常真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的衔接位细缝中发生,当抽气系统抽气后使真空室内压强降低,外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内,形成真空度降低。
真空镀膜机选购要点解读
1、真空系统由机械泵、扩散泵、增扩泵、油增压泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
3、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
4、夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式,用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。
5、充气方式可选用质量流量计、浮子流量计+针阀及相应的充气阀门,并可选择多路充气管路及相应流量参数。
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