真空镀膜设备离子镀膜上的创新方法

真空镀膜设备多弧离子镀膜上的创新方法，所谓多弧离子镀膜就是置待镀材料和被镀基板于室内，真空镀膜机多弧离子镀膜采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。　　

　真空镀膜设备多弧离子镀膜工艺不仅避免了传统表面处理的不足，且各项技术指标都优于传统工艺，在五金、机械、化工、模具、电子、仪器等领域有广泛应用。

据我国真空镀膜设备行业发展分析，在国际社会将二氧化碳、排放量的大小与国家对环境负责任形象直接相提并论的今天，节能减排已经是关系到国家经济、生存环境是否可持续发展的大问题。现对2016年我国真空镀膜行业发展趋势分析。发达国家的集热能量使用数据显示，年平均集热用水使用能量所消耗的电力，占国家年度总电力消耗的 1/4;加之世界传统能源的日趋减少。

玻璃镀膜设备是利用真空磁控溅射方式在浮法玻璃表面进行镀膜的***设备，镀膜舱室真空度为1.0E-6mbar的高真空，生产线采用真空磁控溅射方式在玻璃表面进行镀膜，保持高真空环境是玻璃镀膜设备的基本条件。

玻璃镀膜设备由真空腔室、镀膜腔室、狭缝阀、工艺介质平台、狭缝阀、传动系统、液压设备、冷却系统、放气系统、压缩空气系统、冷却水系统等组成，采用电气程序全自动控制。

玻璃基片通过传动辊道实现水平直线传输，依次经过锁室、缓冲室、过渡室进入工艺腔室，镀膜工艺完成后，经过渡室、缓冲室、锁室传出。传动辊道间通过同步齿形皮带联动，传动辊道由减速机通过施密特联轴器、刚性联轴器等与辊道相连。真空系统主要通过各种真空泵来实现，在生产线各个关键位置均安装各级真空规测量真空度。