真空纳米镀膜机设备的主要用途

(1)各种功能性薄膜：如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如，低温沉积氮化硅减反射膜，以提高太阳能电池的光电转换效率。

(2)装饰领域的应用，如各种全反射膜及半透明膜等，如手机外壳，鼠标等。

(3) 在微电子领域作为一种非热式镀膜技术，主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属有机

(4)化学气相沉积(MOCVD)生长困难及不适用的材料薄膜沉积，而且可以获得大面积非常均匀的薄膜。

磁控溅射除上述已被大量应用的领域，还在高温超导薄膜、铁电体薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池、记忆合金薄膜研究方面发挥重要作用。

真空镀膜设备真空热处理是指金属制件在真空或先抽真空后通惰性气体条件下加热，然后在油或气体中淬火冷却的技术。由于真空热处理时，工件基本不氧化，钢件不脱碳，采用通气对流加热方式还可使加热均匀，减少表面和心部的温差，从而也减少畸变。目前它已成为***工模具不可或缺和的热处理工艺。更为可贵的是，真空热处理在生产过程中不会产生任何污染环境的物质，从而被大家公认属于清洁生产技术范畴。可以毫不夸张地说，真空热处理已成为当前***热处理生产技术的主要标志。

玻璃镀膜设备是利用真空磁控溅射方式在浮法玻璃表面进行镀膜的***设备，镀膜舱室真空度为1.0E-6mbar的高真空，生产线采用真空磁控溅射方式在玻璃表面进行镀膜，保持高真空环境是玻璃镀膜设备的基本条件。

玻璃镀膜设备由真空腔室、镀膜腔室、狭缝阀、工艺介质平台、狭缝阀、传动系统、液压设备、冷却系统、放气系统、压缩空气系统、冷却水系统等组成，采用电气程序全自动控制。

玻璃基片通过传动辊道实现水平直线传输，依次经过锁室、缓冲室、过渡室进入工艺腔室，镀膜工艺完成后，经过渡室、缓冲室、锁室传出。传动辊道间通过同步齿形皮带联动，传动辊道由减速机通过施密特联轴器、刚性联轴器等与辊道相连。真空系统主要通过各种真空泵来实现，在生产线各个关键位置均安装各级真空规测量真空度。