溅射镀膜的操作与溅射镀膜设备是密切相关的。目前商业上已有很精制的设备安装在显微镜下的载物台的位置上。溅射镀膜时，将抛光的试样安放在式样头具上，倾转到面对电子***(阴极)的位置，调节溅射室中的气压，辉光放电，阴极溅射，反应溅射沉积。时间后，中断溅射，把溅射沉积的试样表面，转回到面对物镜的位置，观察试样表面的颜色，来评定沉积膜的厚度，当要求的颜色得到时，镀膜操作停止。

真空镀膜机金属件装饰膜PVD镀制工艺

真空镀膜机金属件装饰膜PVD镀制工艺是一种高新技术,主要为在装饰产品设计。例如大型板材管材、家具装饰品上镀保护膜，镀膜后的产品能够展现出雍容华贵、光彩夺目等各种各样的美丽效果，并且膜层耐磨损***。

1.装饰件材料（底材）

(1)金属。不锈钢、钢基合金、锌基合金等。

(2)玻璃、陶瓷。

(3)塑料。ABS、PVC、PC、SHEET、尼龙、水晶等。

(4)柔性材料。涤纶膜、PC、纸张、布、泡沫塑料、钢带等。

2.装饰膜种类

(1)金属基材装饰膜层：TiN、ZrN、TiC、CrNx、TiCN、CrCN、Ti02、Al等。

(2)玻璃、陶瓷装饰膜层：TiO2、Cr2O3、MgF2、ZnS等。

(3)塑料基材装饰膜层：AI、Cu、Ni、Si02、Ti02、ITO、MgF2。

(4)柔性材料装饰膜层：Al、lTO、Ti02、ZnS等。

气相沉积设备厂家一般真空室内漏气都是从室壁上的小孔或者部件之前的链接位细缝中产生，当抽风系统抽气后使真空室内压力下降，外部与内部的压力使气体从压力高的外部流向压力低的真空室，造成真空度下降。为真空镀膜设备做好检漏工作是很重要的，造成真空度下降的原因很多，所以要解决这些原因稳定镀膜的效果。

当真空镀膜设备抽泵连续工作一个月的时候，我们需要重新更换新油，将泵油内的旧油完全排放出来然后加入新的泵油至一定量。