真空镀膜设备主要由真空腔、抽气系统、蒸发系统、成膜控制系统等组件构成。镀膜设备已经被广泛应用于光学、电子、玩具、建材、五金、钟表、汽车、民用装饰品等行业。镀膜技术在光学仪器中的应用人们熟悉的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪，以及日常生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等，它们都离不开镀膜技术，镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。制镀薄膜尤其广泛，其制作的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中，如数码相机、数码摄像机、望远镜、投影机、能量控制、光通讯、显示技术、微机电系统、信息工业、激光的制作、各种滤光片、照明工业、传感器、建筑玻璃、汽车工业、装饰品、钱币、眼镜片等等，镀膜机器已经与人类的生活紧密联系。

真空镀膜机是指需要在各种高真空状态下进行的涂层，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积组成。

真空镀膜机也是目前制造真空条件使用的真空设备，一般由真空室、真空机、电控盒三部分组成。镀膜设备的清洗：设备使用一周后，涂层材料不仅涂在工件表面，而且由于不定向，还涂在工作室的衬板上，涂层厚度越来越厚。由于真空热处理时，工件基本不氧化，钢件不脱碳，采用通气对流加热方式还可使加热均匀，减少表面和心部的温差，从而也减少畸变。这一层的膜厚由于组织和缠绕而松散，吸收了大量气体，导致真空镀膜设备泵送越来越慢，所以这个时候工作室和衬板都要清理干净。如果不必要地拆下零件，可以用砂纸打磨。

真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，分子束外延，激光溅射沉积等很多种。

真空镀膜设备真空系统技术要求

真空系统能够通过外接电极进行控制、监测、加热等磁控溅射镀膜需要对工件进行烘烤除气、用离子轰击进行除气和清洗以提高薄膜的质量和结合力，除此之外还希望能够监测工件镀膜时的温度，在线控制薄膜厚度。