真空镀膜设备真空热处理是指金属制件在真空或先抽真空后通惰性气体条件下加热，然后在油或气体中淬火冷却的技术。

真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。平常我们还应当注意以下几点：

1、真空镀膜设备使用一段时间后，必须要对设备进行清洁维护；

2、保证设施设备及操作环境清洁。如材料、样品放置地环境要求，环境温度湿度要求等；

3、降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘侵入。

真空镀膜设备主要由真空腔、抽气系统、蒸发系统、成膜控制系统等组件构成。

真空镀膜设备选购要点分析如下：

根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、多弧离子镀等。

真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

真空镀膜机是指需要在各种高真空状态下进行的涂层，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积组成。

真空镀膜机也是目前制造真空条件使用的真空设备，一般由真空室、真空机、电控盒三部分组成。镀膜设备的清洗：设备使用一周后，涂层材料不仅涂在工件表面，而且由于不定向，还涂在工作室的衬板上，涂层厚度越来越厚。广泛应用于汽车、音响、各类小家电、电脑、钟表、玩具、手机、反光杯、化妆品、玩具等行业。这一层的膜厚由于组织和缠绕而松散，吸收了大量气体，导致真空镀膜设备泵送越来越慢，所以这个时候工作室和衬板都要清理干净。如果不必要地拆下零件，可以用砂纸打磨。