镀膜技术在光学仪器中的应用

      人们熟悉的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪，以及日常生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等，它们都离不开镀膜技术，镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。

   

1. 真空

在空间内，低于环境大气压力的气体状态。

2. 真空度

表示真空状态下气体的稀薄程度，通常用压力值来表示。

3. 真空区域划分

低真空 105Pa-102Pa

中真空 102Pa-10-1Pa

高真空 10-1Pa-10-5Pa

超高真空 10-5Pa-10-9Pa

极高真空 <10-9Pa

4. 全压力

混合气体中所有组分压力的综合。

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。

在镀膜领域，镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜性能的一个重要因素。因此，当评价薄膜样品的性能时，需要检测该薄膜样品不同厚度下的性能。对于真空镀膜的情形，这往往需要进行多次试样的制备。

真空镀膜设备膜层灰暗及发黑：(1)真空度低于0.67Pa。应将真空度提高到0.13-0.4Pa。(2)气的纯度低于99.9％。应换用纯度为99.99％的气。(3)充气系统漏气。应检查充气系统，排除漏气现象。(4)底漆未充分固化。应适当延长底漆的固化时间。(5)镀件放气量太大。应进行干燥和封孔处理。普通玻璃能透过绝大部分太阳光辐射能量，这对采光和吸收太阳光线的能量十分有利。真空镀膜设备膜层表面光泽暗淡：(1)底漆固化不良或变质。应适当延长底漆的固化时间或更换底漆。(2)溅射时间太长。应适当缩短。(3)溅射成膜速度太快。应适当降低溅射电流或电压。