1．真空获得设备

真空获得设备主要包括：旋片真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵、蒸汽流真空泵、往复真空泵、液环真空泵、水喷射泵、水蒸气喷射泵、分子泵、低温泵、离子泵、干泵等等。其中又以旋片真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵、蒸汽流真空泵、往复真空泵、液环真空泵这六种产品产量好。

(1)旋片真空泵

按照我国产品的规格系列分类，旋片真空泵可以分为直联泵和皮带泵。

(2)罗茨真空泵

罗茨真空泵主要分为普通型和带旁通阀型罗茨泵。大多数罗茨泵不能单独使用，要与其他真空泵组成机组，才能正常工作。该泵的特点是启动快，抽气量大，抽气时间短，在冶金、化工、造纸等行业很受欢迎。

(3)滑阀真空泵

滑阀真空泵可分为单级和双级两种类型。单级滑阀泵的极限压力一般为1 Pa左右。双级滑阀泵的极限压力可达到0. 06 Pa，滑阀真空泵可以单独使用，但多数情况下与其他真空泵组成机组而广泛用于冶金、化工、电工等行业。其特点是抽气量大，运行可靠，可抽出少量可凝性气体。

(4)油扩散泵

油扩散泵可分为两个系列，直筒型和凸腔型。直筒型的规格有K - 100、K -160、、K - 200、K- 300、K - 400、K - 600、K - 800、K - 1000、K - 1200等。凸腔型的规格有KT - 150、KT - 200、KT - 300、KT - 320、KT - 400、KT - 500、KT - 600、KT - 800、KT - 1000等。由于凸腔泵的腔体外凸增大，因此抽速比直筒泵高出30%左右。油扩散泵与罗茨泵、旋片泵等组成机组，用于机械、冶金、薄膜等行业。其特点是极限压力高，可达到1 × 10-5 Pa，没有机械运动，可靠性好。国产油扩散泵都存在一定的返油，易造成油污染，因此限定了它的使用条件。

(5)液环真空泵

水环真空泵是液环真空泵中的一种。它以水为介质达到真空目的。水环真空泵的型号规格很多，有SK单级水环泵系列，2SK双级水环泵系列，2BEI水环泵系列等等。该泵的特点是抽气量大、无油污染，可抽出潮湿气体。可以单独使用，也可以组成机组。水环真空泵主要用于化工化学，电站、煤矿等行业。目前国产水环泵逐渐向大型化发展。我国生产的世界上好的800 m3/min水环泵目前已经用于煤矿的安全生产。

(6)分子泵和干泵

分子泵在国外是高真空领域的主泵，，主要用于半导体、薄膜工业等。

干泵是应半导体、薄膜等产业的迅速发展应运而生。该泵可作为分子泵的前级泵，从而实现全无油高真空系统。