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尽量采用减少接触摩擦分离而产生静电荷的生产流程。
泄放和中和 这是控制静电三部曲的第二步,在微电子生产的净化室中***通常的措施(指针对问题的解决办法)是接地,采用导电性或耗散性材料泄放静电荷,以及离子化消电器和静电荷。
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如地面不平可用塑料楔子垫平脚座。然后纵横方向各装了3块地板,检查是否错离中线位置,起点非常重要。
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用安装螺钉将桁梁固定到支座上,并用水平尺、直角尺逐一校正桁梁,使之既在同一平面内,又相互垂直;
用吸板器在组装好的桁梁上放置通风地板;
若靠近墙面处剩余尺寸小于通风地板的长度,可以用切割地板的方法进行拼补;
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