气体质量流量控制器、流量计主要分为毛细管和芯片传感两种。本公司生产的流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传递分布效应而制成,即热分布式流量计( Thermal profile flowrηeter)。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值信号去驱动控制调节阀门,通过闭环,去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器在主通道和毛细管间产生层流,控制输岀的流量检测电压与流过通道的流量成比例还有一种芯片传感的气体质量流量控制器、流量计,也主要是采用热式原理生产的,也既能检测质量流量计的大小,也可以控制质量流量的大小。利用热平衡方程可以计算出因对流引起的芯片表面的温度再分布,获得温度差与流。

   气体质量流量控制器的优势

　　1. 真正的质量流量计，对气体流量测量无需温度和压力补偿，测量方便、准确。可得到气体的质量流量或者标准体积流量。

　　2. 宽量程比，可测量流速高至100Nm/s底至0.5Nm/s的气体，可以用于气体检漏。

　　3. 抗震性能好使用寿命长。传感器无活动部件和压力传感部件，不受震动对测量精度的影响。

　　4. 安装维修简便。在现场条件允许的情况下，可以实现不停产安装和维护。

　　5. 数字化设计。整体数字化电路测量，测量准确、维修方便。

　　6. 采用RS-485通讯，可以实现工厂自动化、集成化。