影响无尘净化工程洁净度及选择气流速度的因素主要是:(1)室内污染源:建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源,根据具体情况而异,变化很大;(2)室内气流流型及分布:单向流要求均匀、平等的流线,但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合,避免死角及温度分层。
净化工程车间的防静电处理,1.使用离子风qiang、离子头、离子棒等设施,使在一定范围内防止静电产生。2.半导体器件应盛放在防静电塑料盛放器或防静电塑料袋中,这种防静电盛放器有良好导电性能,能有效防止静电的产生。当然,有条件的应盛放在金属盛放器内或用金属箔包装。3.对于操作人员应在手腕上带防静电手带,这种手带应有良好的接地性能,这种措施极为有效。
什么是净化室?洁净室是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物扫除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振荡及照明、静电操控在某一需求范围内,而所给予格外规划之房间。亦便是不管外在之空气条件怎么改变,其室内均能俱有保持原先所设定请求之洁净度、温湿度及压力等功用之特性。洁净室主要之效果在于操控商品(如硅芯片等)所触摸之大气的洁净度日及温湿度,使商品能在一个杰出之环境空间中出产、制作,此空间咱们称之为洁净室。
在单向流洁净室内,洁净气流不是一股或几股,而是充溢全室断面,所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释效果,而是靠洁净气流推出效果将室内脏空气沿全部断面排至室外,到达净化室内空气的意图。所以,前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”前苏联称之为“被揉捏的弱空气射流”。洁净空气就比如一个空气活塞,沿着房间这个“气缸”,向前(下)推动,而使尘粒只能前(下)进,没有回来,把原有的含尘浓度高的空气揉捏出房间。在单向流洁净室以及单向流净化设备中,能够发现沿壁的和两个过滤器搭接处下方的反向气流。这种气流将把下方的污染传输到上部再送下来,破坏了上述“活塞流”的状况,损害极大。关于和外界有开口相通的部分净化设备,例如洁净工作台,这种气流将引射外界污染气流,在规划上必定要减小过滤器边框处所占的无效面积,更要设法使空间的壁面尽量挨近过滤器有用迭风截面。