近年，在这些规则规模中坚持处理空气进程，使咱们必需承担资金和运营本钱。可是为什么值得花费这么多钱用在无尘车间、洁净室中操控相对湿度呢？道理很简单，因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体体现下降的因素，其间包含：1、细菌成长；2、工作人员感到室温舒适的规模；3、出现静电荷；4、金属腐蚀；5、水汽冷凝；6、光刻的退货；7、吸水性。

  离开无尘车间应该注意的事项：

1、脱下全套工作服和一次性保护装置，并在返回时再穿上重新处理过的成套工作服。2、取下一次性保护装置，但工作服重复利周，工作服要放置在专门的放置箱里，防止污染。3、如果在返回时需要全部更换工作服，则可将帽、手套、面罩和脚套作为废物放入箱内。4、如果其余工作服是非一次性的，则要将其放入另一衣箱，送去无尘车间zhuan用洗衣房处理。

洁净室的测试：1.隔离检漏：这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入洁净室。2.室内气流控制：气流控制测试的类型要依洁净室的气流模式——是紊流还是单向流而定。若安徽洁净室气流为紊流，则必须验明室内没有气流运行不足的区域。若是单向流洁净室，则必须验明整个室内的风速和风向是符合设计要求的。3.悬浮粒子浓度和微生物浓度：如果上述这些测试满足要求，则后对粒子浓度和微生物浓度(需要时)进行测量，以便验明其符合洁净室设计的技术条件。4.其他测试：除了上述这些污染控制方面的测试以外，有时还必须进行下述一项或若干项测试：1、温度2、相对湿度3、室内加热与冷却容量4、噪声值5、光照度6、振动值。