近年,在这些规则规模中坚持处理空气进程,使咱们必需承担资金和运营本钱。可是为什么值得花费这么多钱用在无尘车间、洁净室中操控相对湿度呢?道理很简单,因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体体现下降的因素,其间包含:1、细菌成长;2、工作人员感到室温舒适的规模;3、出现静电荷;4、金属腐蚀;5、水汽冷凝;6、光刻的退货;7、吸水性。
细菌和其他生物污染(霉菌,病毒、真菌、螨虫)在相对湿度超越60%的环境中能够活跃地繁衍。一些菌群在相对湿度超越30%时就能够添加。在相对湿度处于40%至60%的规模之间时,能够使细菌的影响以及呼吸道gan染降至低。相对湿度在40%至60%的规模相同也是人类感觉舒适的适度规模。湿度过高会使人觉得气闷,而湿度低于30%则会让人感觉干燥,皮肤裂,呼吸道不适以及情感上的不快。高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室外表的静电荷堆集——这是大家期望的成果。较低的湿度比较合适电荷的积江西并成为潜在的具有破坏性的跟电释放源。当相对湿度超越50%时,静电荷开始迅速消散,可是当相对湿度小于30%时,它们能够在绝缘体或许未接地的表成上持续存在很长一段时刻。
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