近年，在这些规则规模中坚持处理空气进程，使咱们必需承担资金和运营本钱。可是为什么值得花费这么多钱用在无尘车间、洁净室中操控相对湿度呢？道理很简单，因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体体现下降的因素，其间包含：1、细菌成长；2、工作人员感到室温舒适的规模；3、出现静电荷；4、金属腐蚀；5、水汽冷凝；6、光刻的退货；7、吸水性。

洁净室的测试：1.送风量与排风量：如果是紊流洁净室，那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净室，则要测量其风速。2.各区之间的气流控制：为证明各区之间气流运动方向正确，也就是从洁净区向洁净度差的区域流动，必须检测：(1)各区间的压差正确;(2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确，即从洁净区向洁净程度差的区域流动。3.过滤器检漏：对过滤器及其外框要进行检验，以保证悬浮污染物不会穿过：(1)损坏了的过滤器;(2)过滤器与其外框间的缝隙;(3)过滤器装置的其他部位而侵入室内。

净化工程车间的防静电处理,1.保持环境有一定的湿度。实践证明，北方地区或在干燥的冬季，因静电产生故障的事例要远远大于在东南沿海地区或其他季节，所以在一些重要场所，如计算机机房、实验室、电子仪器的装调车间应考虑保持一定湿度的问题，特别是对那些封闭形的空调房间，更应有一定控制湿度的设备。2.铺设防静电地板或地毯。目前已有这种具有一定导电性能的塑料地板或地毯产品，能十分有效抑制由于人的行走产生静电。