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来源:2592作者:2020/3/26 7:41:00





单级旋片式真空泵和双级旋片式真空泵的基本区别

单级旋片式真空泵和双级旋片式真空泵的润滑方法的基本区别是它们的适用范围不同。与其说双级旋片式真空泵的本身具有产生低极限压强的能力,不如说双级旋片式真空泵中有效的分馏作用使其更适于在低压强(低于1Torr)下工作。

油分解产生的污染***终要出现在大气级的油中,并且它对***级性能的影响是不太大的,这意味着两次换油之间相当长的时间内可以满意地工作。使用气镇有助于得到使油净化的效果,而在泵的入口处,只会增加千分之几Torr的空气分压强,同时降低了工作噪声。即使没有气镇,双级旋片式真空泵的噪声水平一般也比单级旋片式真空泵低。大气级的高油流率产生的液压噪声,在高真空级是不存在的。排气阀浸在油里以防止大气流入泵中,油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进入泵腔,使泵腔内所有运动的表面被油覆盖,形成了吸气腔与排气腔的密封,同时油还充满了一切有害空间,以消除它们对极限真空的影响。低的油流率使得双级旋片式真空泵适于低压强下工作,而不适于在高压强下持续工作。

对于大的气体质量流,当高真空级储油池的油耗尽时,面对强气流,油是无法反溅流入泵腔中的。所以,当必须在高压强(约l0Torr以上)下持续工作时,应强制性地提供油,以进行润滑。

单级旋片式真空泵的润滑系统是基于差压原理,它在低于500-600Torr的压强下,就能很好地工作。当入口压强较高时,油路的气体反流阻止了油的流动,只有强制性供油才能在500Torr以上的压强下连续工作。在必须处理大质旦流率时,单级旋片式真空泵通常要考虑设置油气分离器。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。



真空泵选型日常维护必备手册

 真空泵基本上可以分为两种类型,即气体传输泵和气体捕集泵。气体传输泵是一双极旋片真空泵种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵。气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。1MPa单圈弹簧管式压力表(比如Y—100)测量的是相对压力,指针是顺时针变化,起始点0表示一个大气压0。  

①、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或   

②、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。   

③、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。   ④、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对***有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。按其作用原理可分为三类:(1)叶片式:叶片式泵有叶轮,叶轮上均布置有叶片。



真空泵常用性能参数详注


起动压力

泵无损坏起动并有抽气作用的压力

前级压力

排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力。

超过了能使泵损坏的前级压力。

工作压力

对应抽气量的入口压力。在此压力下,泵能连续工作而不恶化或损坏·

抽气量(Q单位:Pa·m3·S-1;Pa·L·S-1)

流经泵入口的气体流量。

压缩比

泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。

综上所述:真空泵的抽气速率和极限压力两个参量是在实际应用中选配真空泵的***的参量。






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