光波超精密技术研究院——进口气浮导轨厂家

安置设备的房间的使用面积要求（尽量满足）：长度实际需求+5 米；宽度≥4 米；高度 3.5 米。

设备安置房间应远离跑道，周围无震源，墙体不为外墙，周围建立防带。具体要求请建筑设计人员根据长距离精密计量及校准防震的通用要求设计。若该校准实验室能建于地下是较为理想的（1、能实现大尺寸校准实验室所需要的稳定的环境温度要求；2、易于实现大尺寸精密校准所需要的每小时温度的变化量要求；气浮式导轨电子制造设备工业中超精密测量和实验室测量，如光刻机、贴片机等纳米和亚微米工业磨擦系数接近零，永i不磨损。3、能节约能源等）。

光波超精密气浮导轨——进口气浮导轨厂家

气源要求

供气压力： >0.7 MPa

耗气量： 1.5M3/min

气源的出口温度：20±4 ℃

推荐：使用空压机 +冷冻干燥机+二级过滤。

温度要求

温度要求： 20℃±2℃ (精度校验应满足 20℃±1℃)

温度时间梯度：≤0.8℃/小时&≤1℃/24 小时  

温度空间梯度: ≤0.6℃/m

注意:不应受到太阳照射，不应靠近暖气，不应靠近进出通道。温度将会直接影响测量精度及稳定性。

湿度要求：

空气相对湿度： 40%-70%

推荐：现场请至少配备一个高灵敏度干湿温度计。

注意：过高湿度会导致机器表面、电机凝结水份，增大测量设备故障概率降低使用寿命。空调的进回风系统设计应绕开精密导轨的主校准测量区域。

光波超精密——进口气浮导轨厂家

气浮导轨是利用空气粘性，将外部压缩空气通过节流器导入导轨与滑块间隙中，形成具有超高刚度的气膜间隙，从而支撑负载实现平稳运动。

应用行业：电子制造装备行业中，如光刻机、贴片机等纳米、亚微米行业的超高精度测量及实验室测量

使用寿命摩擦系数接近为零，***i磨损，精度延续性精度持久性高，出厂精度即为永i久精度导轨***i磨损，因此不存在售后问题，使用成本不用返厂维修，更不用整套更换。

基准修正精度***损失，导轨不用人为修正，补偿，高频杂波信号干扰测量精度高。气膜刚度大，运动平稳，振幅小，且振动频率接近，因此可完全避免和消除在高精度测量中振动对测量精度的影响，

气浮导轨，简单易行，即利用压缩空气使滑块和导轨座相对悬浮，实现无摩擦、无振动的平滑运动，并具有高精度导引。由于空气粘性低，不易爬行、振动小、热稳定性好、不污染环境等优点，因此本试验装置采用空气静压导轨设计。气浮导轨相位滚动导轨的优点有：1.无摩擦、磨损小、寿命长。气模厚度极i小，且均匀度好，精度高。三、气膜厚度与速度几乎没有关系，即使在非常低速也不会产生爬行，运动平稳。四、低发热量、低维护、清洁环保。

直线导轨又称线轨、滑轨、线性导轨、线性滑轨，用于直线往复运动场合，且可以承担一定的扭矩，可在高负载的情况下实现高精度的直线运动。光波超精密——进口气浮导轨厂家气浮导轨是利用空气粘性，将外部压缩空气通过节流器导入导轨与滑块间隙中，形成具有超高刚度的气膜间隙，从而支撑负载实现平稳运动。直线导轨运动的作用是用来支撑和引导运动部件，按给定的方向做往复直线运动。直线导轨已经越来越广泛地被应用在数控机床、数控加工中心、精密电子机械、自动化设备等行业。

通常，直线导轨的选用必须根据使用条件、负载能力、和预期寿命选用。所谓使用条件主要是指应用何种设备、精度要求、刚性要求、负荷方式、行程、运行速度、使用频率、使用环境等因素。根据条件选择对应的合适产品系列。

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目前市场上直线导轨的生产厂家很多，各个厂家的型号命名和类型有所不同。高速高压气浮轴承在导轨运动时，在动静压导轨之间排放有气浮轴承，气体流动形成润滑膜，使动静压导轨表面不直接接触。中达PMI的直线导轨类型比较齐全，基本上可以完全覆盖市场上的所有需求，其主要的类型有自调心全钢i珠重负荷型(MSA)、自调心全钢i珠低组装型(MSB)、全不锈钢微小型(MSC)、全滚柱重负荷型(MSR)、静音钢i珠(柱)重负荷型(SME/R)。