光波超精密——闭式气浮导轨厂家

基于气体动静压效应，气浮导轨实现无摩擦、无振动的平稳运动。其特点是运动精i确，清洁无污染。由于均化误差的作用，可采用较低的加工精度获得较高的定位精度。

一般采用伺服驱动、传感器、闭环系统的方式实现高精度位移定位。气浮导轨广泛应用于测量仪器和精密机械中，超精密工作台常用的导轨有滚动导轨、静压力导轨等，滚动导轨的使用已用多年，滚动导轨运动精度可达微米级，摩擦因数可降至0.002~0.003。滚动式导轨具有滚动摩擦阻力小，不存在爬行漂浮现象，但其摩擦系数大，抗冲击性能差，运动不平稳，使用寿命低等优点，在实际应用中还存在不足。

光波超精密空气导轨——闭式气浮导轨厂家

与普通滚动导轨相比，气浮导轨具有以下优点

导轨面之间为气体润滑，其摩擦系数极i小(约0.0005左右)，因此可以大大降低传动功率；

由于系非接触摩擦，所以导轨磨损极i小，寿命长，可长期保持制造精度，减少维修工作量；

气膜具有误差均化作用，可提高导轨的运动精度；

(4)气膜厚度与速度几乎没有关系，即使在非常低的速度下也不会产生爬行，运动平稳；

(5)在不增加冷却措施的情况下，几乎不产生热量，不发生粘度变化。

光波超精密技术研究院——闭式气浮导轨厂家

在两个互相运动的平面之间有一个空隙 h (通常是几个微米到几十个微米)，被支撑件的下平面上有一个面积一定的气腔(气腔直径为 d)，气体通过节流器(节流器直径为 d)进入气腔，这样被支撑件①就在气压作用下，被支撑件②就在支撑件②上滑动，使被支撑件①在气缸中形成气浮支撑.当高压气体处于一定压力下时，气浮支撑件①就在气浮中形成。进气腔通过节流器流动时，压力下降到 P。当气腔和间隙两部分所占的面积需要合理设计时，系统就可以使间隙基本保持恒定，并使之处于力平衡状态.但是当外加载 F突然增大时，间隙就会立即减小.因为流经间隙的流量与外加载 F成正比，流速就会大大降低，从而使外加载 F自动增大.

光波超精密气浮导轨——闭式气浮导轨厂家

气浮导轨z大ui的不同之处就是我们把滑轨和滑块结合起来的***机制。利用真空复i制使载体台架在导轨上，消除了振动和谐波噪声。极i好的稳定性、平直性和刚度由此得到保证，保证了每一次实现纳米级定位。

使用空气可大大减少运行时的维护情况。不但不需要进行繁重的润滑要求，而且污染和除气问题也已经过时。

与纳米级精i确度相比，高速操作可同时提高产量和质量，与传统润滑油相比，空气处理可解决污染和除气问题，是洁净室操作的理想选择采用多孔介质技术，使空气分布均匀，不但具有亚纳米级的精度，而且具有内在的防撞设计，以zui大程度地减少潜在损坏，减少维修停机时间，提高操作效率

气浮导轨是传动系统运动的基础，是传动系统的关键部件之一。因其空气粘滞低、不易爬行、振动小、热稳定性好、不污染环境等优点。因此这次测试装置采用空气静压导轨进行设计。气静压力导轨是指通过书流器将有一定压力的空气输送到导轨间隙内，利用气静压力使导轨悬浮，在导轨表面之间形成一层极薄的气膜，而气膜厚度基本不变的纯空气摩擦滑动导轨。气浮导轨副由气浮块和承导面组成，每个承导面上至少有两个气浮块。

相同尺寸的空气轴承，工作时气膜厚度和节流孔直径减少，可使轴承的刚度提高，但如果节流孔过小，就会给加工制造增加难度，并且容易出现堵塞现象，因此，在空气轴承的具体设计中，还应考虑使用环境、加工水平等实际因素。空气轴承如果发生倾斜，气膜不均匀将降低空气浮力轴承的刚度，因此在使用时应尽量避免这种现象。气浮导轨在设计时，可尽可能将同一方向的空气轴承分散开来。

静压气浮导轨是由气浮块、导轨等部件组成。气浮运动时，气浮块与导轨间有压缩气体流动形成的气浮薄膜，这种气浮薄膜的存在，使气浮块与导轨面不直接接触，减少了摩擦，因而广泛应用于精密机床、测量机等精密机械。