磷酸或正磷酸，化学式H3PO4，分子量为97.9724，是一种常见的无机酸，是中强酸。由五氧化二磷溶于热水中即可得到。正磷酸工业上用硫酸处理磷灰石即得。磷酸在空气中容易潮解。加热会失水得到焦磷酸，再进一步失水得到偏磷酸。磷酸主要用于制药、食品、肥料等工业，也可用作化学试剂。无色透明的粘稠状液体。经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸，长时间受冷即生成结晶，有腐蚀性，易吸湿，密封保存。

工业磷酸是否掺假的简易鉴别方法：

1、鉴别加水的情况

在常温条件下，将工业磷酸注入干燥洁净的量筒中，不得有气泡。将密度计缓缓放入量筒中，其下端至少离量筒底部2cm。不能与量筒壁接触。待密度计在试样中稳定后，平视读出密度计弯月下缘面的读数，即为样品的密度（因温度条件及不可控因素的影响，测定的密度值允许与标准值误差0.002g/cm3 ）。样品的密度如低于磷酸的密度，则说明磷酸含量不足。

2、鉴别加硫酸的情况

原理：在酸性条件下，硫酸根离子与过量的发生反应，生成硫酸钡沉淀，反应式如下：

SO42-+Ba2+=BaSO4↓

而磷酸钡溶于酸不会产生沉淀。判定工业磷酸中是否含有硫酸，用此方法就可判别。

方法：量取20ml工业磷酸样品于烧杯中，用纯水稀释至100ml。加入20ml溶液，摇匀。若溶液变成乳白色，则说明磷酸中被人为地添加了硫酸。

一、电子级磷酸用途分析：

1、用于基片涂胶前的清洗

2、用于光刻过程中的蚀刻及后去胶；

3、用于硅片本身制作过程中的清洗及绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、 导体膜蚀刻、 有机材料蚀刻等

二、电子级磷酸制备工艺

1、用高纯磷制备电子级磷酸的工艺

2、用高纯制备电子级磷酸的工艺

3、用三氯氧磷制备电子级磷酸的工艺

四、电子级磷酸质量等级

E1为普通电子级磷酸

E2为高纯电子级磷酸