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根据制作工艺规范选择适当的致冷

分子泵的致冷方式 有三种：自然致冷、强制风冷和水冷。300l/s以下的分子泵，在没有气体负载的情况下，可以采用自然致冷；非常大的分子泵或者有一定的气体负载时，务必选择强制风冷机（风扇致冷）；对于一些负载十分大的应用（比如CVD），或者不方便使用风扇的地理环境（如性物质地理环境），务必选用水冷散热器。EDWARDS STP-301CB1中心

无论选用哪种致冷方式 ，分子泵工作上的操作温度务必保持在5~35℃正中间，选用水冷散热器时，要采用经历处理的软化水处理，制冷冷却循环水的溫度和流量也要考虑到使用说明书的要求。EDWARDS STP-301CB1中心

不管采用哪样制冷方法，分子泵工作中的工作温度必须维持在5~35℃中间，采用水冷散热时，要选用历经解决的软化水，冷却循环水的溫度和总流量还要考虑使用说明的规定。EDWARDS STP-301CB1中心

一般提议分子泵关机时，手动式或是根据型充阀门（VentValve），根据打气口充进气体/N2，提升转子摩擦阻力使其迅速关机；手动式打气时，要留意操纵打气速率，使关机時间和分子泵开机时间非常（依据泵的尺寸不一样而不一样，一般为3~十分钟）。EDWARDS STP-301CB1中心

当分子泵出現常见故障没法应用时，应中止生产制造，并在手动式填满气体后拆换预留分子泵；当分子泵未启动，查验前面泵和继电器是不是一切正常工作中。当分子泵产生常见故障时，务必依据常见故障提醒开展解决。EDWARDS STP-301CB1中心

涡轮分子泵务必在分子结构流情况下工作中。由于当将一定容量的器皿中常含汽体的工作压力减少时，在其中汽体分子结构的平均自由程则随着提升。在过热蒸汽下气体分子结构的平均自由程仅有0.06pm,即均值看一个汽体分子结构要是在室内空间健身运动0.06um,就很有可能与第二个汽体分子结构碰撞。EDWARDS STP-301CB1中心