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分子泵在半导体机械设备中的运用
在半导体材料生产加工加工工艺中，分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。Agilent TV301分子泵销售厂家
光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备，生产制造和维护保养必须高宽比的电子光学和电子工业基本，全世界仅有数生产厂家把握，因而光刻机价格价格昂贵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成，缘故是极紫外线很娇气，在空气中非常容易耗损。原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。另外，在光刻技术全过程中，机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计，这对磁悬浮分子泵的震动值规定极高。（注：皮秒激光=兆分之一秒）Agilent TV301分子泵销售厂家
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有安全防护网维护,为何还会继续有块状玻璃渣落入泵内?
缘故：安全防护网裂开，前面管路裂开。
解决方案:优化软件设计方案。Agilent TV301分子泵销售厂家
真空值非常好的状况下，分子泵油为什么会退到前面管路?
缘故：油池裂开或密封性欠佳。
解决方案：查验油池。Agilent TV301分子泵销售厂家
一切正常应用下，为何分子泵油池会出現裂痕或是形变？
缘故：超温，负荷大。
处理对策：查验制冷系，查验系统软件。Agilent TV301分子泵销售厂家
分子泵中常常掉出顶丝、镙钉等物件，如M5的顶丝等，我想问一下是不是对分子泵的应用有影响？应如何解决？
缘故：应是有时候产生的事儿，可能是均衡中忽略的均衡钉，对分子泵沒有危害。
处理方法：应是有时候产生的事儿，可能是均衡中忽略的均衡钉，对分子泵沒有危害。Agilent TV301分子泵销售厂家
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