广州帕纳光电科技有限公司----高真空涡轮分子泵公司；

这种分子泵的维护可具体分为：1）牵引分子泵气体分子与高速运动的转子碰撞以获得动量，并被驱动到泵出口。 2）涡轮分子泵通过与高速旋转的动叶片和固定的固定叶片配合实现抽气。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400Hz之间。 这样的泵通常以分子流动状态运行。 3）复合分子泵它是由两个涡轮泵和牵引泵串联而成的复合分子真空泵。

涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵，高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。我们真空泵家族经过长时间的发展，种类和应用领域都很多，每种真空泵都具有不同的特点和性能，有需要的企业可以根据各自的使用工况、真空度要求等方面因素考虑如何选取适合你们的真空泵。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。

工作条件

　　（1）转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。

　　（2）气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。

分子泵特点

　　油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。

　　脂润滑分子泵：油脂量，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。

　　全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。

20世纪70年代末开始，人们对真空装置提出更高的要求，既除了能获得高真空之外，还需要能够在排气之后导入各种各样的气体，并使其在真空装置中发生化学反应。所采用的泵应能高抽速地排除这类富于反应性的气体，需要的排气能力甚至比低温冷凝泵还要高。比如水泵在出现底阀漏水时，有些机手图省事，在每次开机前，先向进口管口填些干土，再将土冲到底阀，以使底阀不漏水。为了满足这种日益增长的需求，涡轮分子泵逐渐推广普及。

1912年，德国人W.Gaede发明了世界上台分子泵，它的转子直径为50mm，转子上切有8个尺寸不同的槽，转速为12 000r/min，抽速约为1.5L/s。这种泵的工作原理与现代分子泵的工作原理一致，但由于故障多很快被淘汰，未能普及。

1.分析(质谱分析、电子显微镜等)

2.半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)

3.光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)

4.镀膜(表面保护，装饰涂料，显示器，屏幕)

5.真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)

6.泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊

7.研究实验(医学成像、核粒子物理，核聚变研究，激光应用和许多更多)

进出口贸易法兰盘、冷却循环水安裝

①、泵通道：对正、对称性扭紧

②、泵出入口：避免 移位

③、冷却循环水：无渗水；通道压力0.2MPa；温度20±５℃；水体回应无沉淀

留意：

工作温度：风冷式需低于32℃;水冷散热能致40℃

通道气体压强：强制性风冷式<0.1Pa;当然风冷式<0.01Pa。高真空涡轮分子泵公司

电缆线安裝常见问题

①、对正槽孔插进

②、用螺帽扭紧，边插边拧

③、查验及时。高真空涡轮分子泵公司