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广州潽拓维修-日本岛津SHIMADZU EI-V04M(2304-PB)分子泵控制器
SHIMADZU EI-V04M(2304-PB)分子泵控制器
SHIMADZU EI-V04M(2304-PB)磁悬浮分子泵控制器输入电压单相AC200~240V,频率50-60Hz,大所需电力1.2kVA,SHIMADZU EI-V04M(2304-PB)磁悬浮分子泵电源可以控制的分子泵有Shimadzu TMP-2203LM/LMC、TMP-3403LM/LMC。
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岛津是的涡轮分子泵(TMP)制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。
岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度,可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如,使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。
我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下:
1、超声波清洗转/定子叶片及腔体 并烘干
2、更换了全套陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品
3、马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量
4、根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至G0.16标准,
5、测试0-27000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10-7mbar等
6、持续模拟生产现场测试24小时,
7、0-20KHz震动频谱加速度分析
早在50年代岛津公司就先后研制出光电式分光光度计、气相色谱仪、X射线分析仪等仪器。特别是在分析测试仪器、航空产业机械等领域,以光技术、 X 射线技术、图像处理技术这三大技术为基础不断推陈出新,满足更加广泛的市场需求,使岛津的高科技产品在全世界都享有很高的评价。
日本岛津TMP-4304LMTC大流量分子泵,Shimadzu镀膜真空设备泵保养,Shimadzu TMP-4304LMTC分子泵进气法兰口VG350,出气法兰口KF40,抽速可达到4400L/s,转速为24000rpm
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